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61-9659-59プラズマドライクリーナーPDC610

61-9659-59プラズマドライクリーナーPDC610

品番: snP6fyxZvNSX0E7

特徴 プラズマを使用した表面処理装置。“使いやすく簡単”をポイントにした卓上型高性能タイプです。気軽にデータ取りができるため電子材料を中心に多くの用途に対応します。 最高出力600Wと小型高出力 電極を1段・2段・3段と変更可能 縦型マガジン等の処理が可能 RIE/DPモード切替方式 データロガ...
9,800,000円  3,038,040円割引: 69%OFF

アイテム説明

特徴

  • プラズマを使用した表面処理装置。“使いやすく簡単”をポイントにした卓上型高性能タイプです。気軽にデータ取りができるため電子材料を中心に多くの用途に対応します。
  • 最高出力600Wと小型高出力
  • 電極を1段・2段・3段と変更可能
  • 縦型マガジン等の処理が可能
  • RIE/DPモード切替方式
  • データロガー組み込み(オプション)
  • マッチングポイント記憶機能(オプション)

仕様

  • プラズマモード:RIE/DP
  • 電極構造:3段独立平行平板
  • 高周波出力:mAX600W
  • 発信周波数:13.56mHz
  • 制御・表示方式:シーケンサー・タッチパネル
  • チャンバー寸法:350×270×300mm
  • チャンバー材質:A5052
  • 反応ガス:2系統(アルゴン、酸素)
  • パージガス:窒素またはドライエア
  • 真空ポンプ:ロータリー真空ポンプ(約345L/分)
  • 外形寸法:600×722×700mm
  • 外装材質:ステンレス
  • 電源※:三相 AC200 50/60Hz
  • 海外規格:FCC